与真空蒸镀法相比，阴极溅射具有如下特点：
（１）结合力高：由于沉积到基片上的原子能...
真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、
真空束流沉积、化学气相沉积...
（２）各种镀膜都需要有一个蒸发源或靶子以便把蒸发制膜的
料转化成气体。目前由于源或...
（３）高频感应加热法。是在高频感应线圈中放入氧化铝或石
墨坩埚，多弧磁控离子镀膜机...
利用溅射法不仅可以获得纯金属膜，也可以获得多组元膜。
获得多组元膜的具有代表性的方...
１１２２真空溅射镀膜
在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够...
在卷绕式真空镀膜机中，卷绕机构是重要组成部分．它应保证基材在卷绕过程中的速度和张力恒...
建筑用玻璃采用镀膜技术已经十分盛行，因为这种镀膜，多弧磁控离子镀膜工具，不但
以美...
早在２０世纪初，多弧磁控离子镀膜方法，大发明家爱迪生就提出了唱片蜡膜采用阴极
溅射...
真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域，它是以真空
技术为基础，利用物理或化学的...
本书引用列举了２０年来国内外大量的相关文献，使本书 发布者：佛山市佛欣真空技术有限公司
（４）每种薄膜都可以通过微调阀精111确的控制镀膜室中残余气体
成分和含量，从而防...
作为气相沉积表面改性的主要技术之一的多弧离子镀技 发布者：佛山市佛欣真空技术有限公司
用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的膜
和降低能耗，多弧磁控离子镀膜...
沪公网安备 31011502004088号